一種增大MEMS平板電容驅(qū)動(dòng)器有效行程的新方法

針對(duì)平板電容式靜電驅(qū)動(dòng)器受拉入(Pull in)現(xiàn)象影響其有效驅(qū)動(dòng)行程僅為平板間初始間距的1/3的問(wèn)題,設(shè)計(jì)了一種新的復(fù)合彈性梁結(jié)構(gòu),并分析了其對(duì)驅(qū)動(dòng)器有效驅(qū)動(dòng)行程的影響.通過(guò)分析發(fā)現(xiàn),復(fù)合彈性梁的應(yīng)用可以有效提高平板電容式靜電驅(qū)動(dòng)器的有效行程至2.09μm,達(dá)到初始間距的44%.

作 者： 饒伏波 喬大勇 苑偉政 姜澄宇   作者單位： 西北工業(yè)大學(xué)微/納米系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室  刊 名： 航空制造技術(shù)  ISTIC 英文刊名： AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 ""(6)  分類(lèi)號(hào)： V2  關(guān)鍵詞： 平板電容驅(qū)動(dòng)器   有效行程   拉入   MEMS  

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