定容式流導(dǎo)法微流量校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)

定容式流導(dǎo)法微流量校準(zhǔn)裝置是氣體微流量的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn),由定容式流量計(jì)和流導(dǎo)法兩部分組成,定容式流量計(jì)用于大流量的測量,流導(dǎo)法用于小流量的測量.定容式流量計(jì)有兩種工作模式,可測量流入定容室的氣體流量;也可測量流出定容室的流量.該校準(zhǔn)裝置,可采用定容法和流導(dǎo)法對(duì)氣體微流量進(jìn)行校準(zhǔn),校準(zhǔn)范圍為(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.56%～1.70%.

作 者： 張滌新 郭美如 趙瀾 趙定眾 Zhang Dixin Guo Meiru Zhao Lan Zhao Dingzhong   作者單位： 蘭州物理研究所,蘭州730000  刊 名： 中國空間科學(xué)技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE SPACE SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2006 26(2)  分類號(hào)： V4  關(guān)鍵詞： 流量計(jì)   流量測量   校準(zhǔn)   設(shè)計(jì)  

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