基于光源掃描的三角法位移測(cè)量方法

對(duì)激光三角法測(cè)量位移的幾種光路布局方案及其特點(diǎn)進(jìn)行了比較,在此基礎(chǔ)上,提出了一種新的基于光源掃描的三角法激光位移測(cè)量方法,闡述了激光三角法測(cè)量原理,并設(shè)計(jì)了相應(yīng)的測(cè)量系統(tǒng),分析了影響系統(tǒng)精度的因素.理論分析可知,該系統(tǒng)的測(cè)量分辨力可達(dá)到1.5×10-5 m.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:此系統(tǒng)有很強(qiáng)的實(shí)用性,測(cè)量范圍為0 mm～10 m,適用于工業(yè)生產(chǎn).

作 者： 王玉田 劉輝 張玉燕 劉少勛 WANG Yu-tian LIU Hui ZHANG Yu-yan LIU Shao-xun   作者單位： 燕山大學(xué),電氣工程學(xué)院,河北,秦皇島,066004  刊 名： 傳感器與微系統(tǒng)  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(10)  分類號(hào)： P221  關(guān)鍵詞： 三角法   位移測(cè)量   電荷耦合器件  

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