射頻感應(yīng)耦合等離子體調(diào)諧基片自偏壓特性的進(jìn)一步研究

在已有的調(diào)諧基片自偏壓研究的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步研究了基片臺(tái)空間軸向位置對(duì)基片自偏壓-調(diào)諧電容曲線的影響;研究了基片分支串聯(lián)電阻對(duì)基片自偏壓的影響,發(fā)現(xiàn)了在電阻值區(qū)自偏壓自振蕩現(xiàn)象;在不同的放電參數(shù)下,采用自制診斷工具測(cè)量了射頻感應(yīng)耦合等離子體電子溫度、電子密度等參量的空間分布.并對(duì)基片自偏壓相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象給出了物理模型解釋.

作 者： 霍偉剛 楊艷 劉成森 丁振峰 HUO Wei-gang YANG Yan LIU Cheng-sen DING Zhen-feng   作者單位： 霍偉剛,劉成森,HUO Wei-gang,LIU Cheng-sen(遼寧師范大學(xué),物理與電子技術(shù)學(xué)院,遼寧,大連,116029)

楊艷,YANG Yan(大連水產(chǎn)學(xué)院,生命科學(xué)技術(shù)學(xué)院,遼寧,大連,116023)

丁振峰,DING Zhen-feng(大連理工大學(xué),物理系,遼寧,大連,116024) 

刊 名： 遼寧師范大學(xué)學(xué)報(bào)（自然科學(xué)版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF LIAONING NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)  年，卷(期)： 2008 31(2)  分類號(hào)： O539  關(guān)鍵詞： 射頻等離子體   調(diào)諧基片自偏壓   正反饋  

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